Kasetiniai šildytuvai didelio vakuumo aplinkoje – specialios pastabos

Didelio{0}}vakuumo sąlygos yra vienos iš labiausiai reikalaujančių vietų naudoti kasetinius šildytuvus. Gaminant puslaidininkius, nusodinant ploną {{2}plėvelę ir atliekant mokslinius tyrimus, šildytuvai turi veikti patalpose, kuriose slėgis mažesnis nei militorras. Tam tikromis aplinkybėmis įprastiems pramoniniams šildytuvams taikomos taisyklės skiriasi. Kai nėra oro, kuris perneštų šilumą ar apsaugotų dalis, dujų išsiskyrimas, šiluminė spinduliuotė ir elektros gedimas veikia skirtingai.

„Hoover“ programose pagrindinė problema yra dujų išleidimas. Vakuuminės medžiagos, kurios yra visiškai stabilios esant atmosferos slėgiui, gali išleisti dujas. Šios dujos gali užteršti procesą, pakeisti vakuumo lygį arba nusėsti ant jautrių dalių. Svarbu pasirinkti tokią apvalkalo medžiagą, kuri neišleistų dujų. 316 nerūdijančio plieno, o Incoloy® yra dvi dažniausios alternatyvos. Jei šildytuvo viduje esanti magnio oksido izoliacija nebus tinkamai tvarkoma, ji gali išsiskirti. Vakuuminiuose -šildytuvuose naudojamas MgO, kuris buvo iškeptas gamybos metu, kad pašalintų įstrigusias dujas.

Be oro šiluma juda kitaip. Įprastoje situacijoje konvekcija padeda pašalinti šilumą nuo šildytuvo. Konvekcija nevyksta vakuume. Vieninteliai šilumos judėjimo būdai yra laidumas ir spinduliavimas. Jei šildytuvas blogai liečiasi su šilumos kriaukle, jis siųs šilumą į aplinkinius paviršius. Net jei šildytuvas neveikia per daug galios, kaimyninės dalys gali per daug įkaisti. Svarbu suprojektuoti hoover sistemas su geru šilumos valdymu. Tai dažnai reiškia, kad reikia naudoti vandeniu-aušinamus skydus arba pastatyti šildytuvus tinkamose vietose.info-1280-882

Vakuume elektros izoliacija veikia kitaip. Oras praranda dielektrinį stiprumą, todėl erdvė tarp laidininkų tampa daug svarbesnė. Kad nesusidarytų lankas, šildytuvo linijos turi būti kruopščiai nutiestos ir paremtos. Energijos tiekimui į kamerą naudojami keraminiai įvadai arba jungtys, kurios veikia su vakuumu. Pats šildytuvas turi būti gerai-izoliuotas. Bet kokie MgO tarpai ar įtrūkimai gali tapti vietomis, kur vakuume susidaro vidinis lankas, o tai gali sukelti greitą gedimą.

Išmatuoti temperatūrą skrudintuve nėra lengva. Termoporos, kurios turi liesti šildytuvą arba ruošinį, veikia gerai. Tačiau paviršiaus spinduliavimo svyravimai gali turėti įtakos infraraudonųjų spindulių jutikliams. Kai kuriose „hoover“ programose naudojamos termoporos, kurios yra įmontuotos į šildytuvą arba įrankius, kad įsitikintų, jog rodmenys yra teisingi. Medžiagos, naudojamos termoporoms gaminti, taip pat turi atlaikyti dujų išsiskyrimą ir gerai veikti vakuume.

Patirtis parodė, kad standartinius kasečių šildytuvus reikia pakeisti, kad jie veiktų esant dideliam{0}}vakuumui. Gamykloje tinkamai veikiantis šildytuvas gali visai neveikti vakuuminėje kameroje. Šildytuvus, kurie veikia hoover, gamina juose besispecializuojančios įmonės. Šie šildytuvai tiekiami su vakuume{4}}keptu MgO, poliruotais apvalkalais ir unikalia švino konfigūracija. Šie šildytuvai paprastai yra sertifikuoti, kad būtų išleisti dujos, ir yra pagaminti taip, kad išliktų stiprūs, kai jie naudojami su garbanomis.

Kai mokslininkai ir inžinieriai dirba su hoover sistemomis, tinkamo kasetinio šildytuvo pasirinkimas yra daugiau nei tik galia ir dydis. Svarbu užtikrinti, kad šildytuvas netaptų taršos šaltiniu ar gedimo tašku. Investuodami į vakuuminius -šildytuvus ir atlikdami tinkamus montavimo veiksmus, pvz., iškepdami šildytuvą prieš jį pastatydami, jei reikia, įsitikinkite, kad šildytuvas gerai veikia vienoje iš sunkiausių pramoninės šildymo įrangos darbo vietų.