Aukštos temperatūros atkaitinimo krosnies termometro temperatūros kalibravimo technologijos paaiškinimas

Pranešama, kad aukštos temperatūros atkaitinimo krosnyje naudojama uždaro ciklo valdymo sistema, sudaryta iš pagreitinto skaitmeninio PLD temperatūros reguliatoriaus, termoelemento, pirometro ir šilumos šaltinio, kad būtų galima tinkamai valdyti temperatūrą. Bendrai valdant halogenines lempas skirtinguose regionuose, temperatūros skirtumas kiekviename regione gali būti kompensuojamas temperatūros reguliavimo proceso metu, išlaikant skirtingų pagrindo regionų temperatūrą. Dėl savo įrengimo ertmės apačioje, pirometras gali priimti spinduliuotę tik iš pagrindo galo ir negali priimti spinduliuotės iš lempos. Todėl pirometru galima tiksliai išmatuoti pagrindo temperatūrą. Šio pirometro temperatūros kalibravimo principas yra toks:
1. Pirometro įvadas:
Šiame straipsnyje pristatomas pirometras yra šiluminės spinduliuotės optinis pirometras. Kai pirometras gauna infraraudonąją spinduliuotę iš matuojamo objekto, optinis signalas filtruojamas, konvertuojamas fotoelektriniu būdu ir sustiprinamas, kad taptų analoginiu signalu, kuris vėliau perduodamas į jutiklio signalo sąsajos grandinės modulį. Šis modulis atlieka signalo A/D konvertavimą ir paverčia jį skaitmeniniu signalu, kurį gali atpažinti kompiuteris. Skaitmeninis signalas, grąžintas atgal į kompiuterį, šiame tekste vadinamas pirometro grįžtamojo ryšio verte.
2. Temperatūros kalibravimo lentelė:
Pagal atitinkamus dėsnius objekto temperatūra yra susijusi su jo spinduliuote ir spektrine spinduliuote. Aukštos temperatūros atkaitinimo krosnyse pirometro gaunamos spinduliuotės kiekis daugiausia priklauso nuo tokių veiksnių kaip substrato medžiaga, dopingas, natūralus oksido sluoksnis ant paviršiaus ir substrato temperatūra. Tam pačiam substrato tipui (ty substratams su ta pačia medžiaga, legiravimu ir paviršiaus natūralaus oksido sluoksniu) pirometro gaunamos spinduliuotės kiekis yra susijęs su substrato temperatūra. Todėl to paties tipo substrato pirometro grįžtamojo ryšio vertė atitinka pagrindo temperatūrą. Ši atitiktis sudaro temperatūros kalibravimo duomenis, o temperatūros kalibravimo lentelė naudojama santykio duomenims tarp kelių substrato temperatūrų ir grįžtamojo ryšio verčių iš pirometro saugoti. Skirtingos temperatūros atitinka skirtingas pirometro grįžtamojo ryšio vertes. Aukštos temperatūros atkaitinimo krosnies kompiuteris gali apskaičiuoti tikrąją pagrindo temperatūrą pagal signalo vertės grįžtamąjį ryšį iš pirometro ir temperatūros kalibravimo lentelės.