Kaip tiksliai kaitinamos plokštės naudojamos plokščiųjų ekranų gamyboje?

Didelio televizoriaus ekrano apačioje yra labai didelės{0} lovos dydžio stiklas. Pažangios 10.5 kartos ir naujesnės kartos gamybos linijos tinka daug didesniems pagrindams, beveik garažo vartų dydžio. Šildymo plokštės, laikančios šiuos trapius, didžiulius lakštus, turi būti plokščios, bet plokštesnės nei beveik bet koks pastatytas paviršius įprastoje pramoninėje aplinkoje, tuo pačiu išlaikant vienodą temperatūrą kelių kvadratinių metrų laipsnio dalimis. Tai nurodo sudėtingą dabartinių šildomų plokščių plokščių ekranų gamybos sistemų sritį.

Ypatingi masto ir tikslumo reikalavimai plokščių plokščių gamybai
Plokščiųjų ekranų (FPD) gamyba priklauso nuo itin plono stiklo substratų apdorojimo, nes tai yra LCD, OLED ir naujos kartos ekranų technologijų pagrindas. Šie substratai yra mechaniškai gležni ir jautrūs termiškai, todėl jiems reikia kelių didelio-tikslumo terminių procesų etapų.

Pagrindo savybės 2.
Įprastas ekrano stiklas turi:

Paprastai storis mažesnis nei 0,5 mm

Dideli paviršiai Kvadratiniai metrai

Didelis trapumas ir mažas atsparumas lūžiams

Jautrumas ekstremalių temperatūrų gradientams

Net ir nedidelis temperatūros netolygumas virš pagrindo{0}} gali sukelti:

Kreipimasis

Dvigubas streso lūžis

Skystųjų kristalų sluoksnių išlyginimo klaidos

Mikroįtrūkimai arba katastrofiškas lūžis

Ekranas gamina tikslias šildymo plokštes
FPD gamyboje šildymo plokštės naudojamos kaip konstrukcinė atrama ir terminio apdorojimo platformos. Jie yra atsakingi už griežtų temperatūros profilių palaikymą pagrindinėse fazėse, pvz., foto-kietėjimo, atkaitinimo ir skystųjų kristalų derinimo.

FPD gamyklinė plokštelė yra karšta, tyli išskirtinio lygumo, mechaninio stabilumo ir šiluminio tikslumo jūra, skirta pagrindams, kurie negali pakęsti iškraipymo.

Palaikomi šiluminiai procesai
Tikslios plokštės naudojamos:

Fotorezisto kietėjimas ir kepimas

plonasluoksnis atkaitinimas

Skystųjų kristalų lygiavimo sluoksnio apdorojimas

Terminis išankstinis sujungimas{0}}

Substrato stabilizavimas prieš litografiją

Kiekvienam procesui reikalingi tiksliai kontroliuojami temperatūros profiliai, dažnai 100–200 laipsnių diapazone, priklausomai nuo medžiagų sistemos.

Plokštumo ir šiluminio vienodumo inžinerija
Ekstremalus plokštumas kartu su aukštos temperatūros homogeniškumu yra pagrindinė ekrano -kaitinimo plokščių savybė.

lygumo kriterijai
Daugelio metrų paviršių lygumas vertinamas mikronais. Net nedideli skirtumai gali sukelti:

Nevienodas kontaktinis slėgis

Vietiniai temperatūros svyravimai

Daugiasluoksnių krūvų optinio nesutapimo padariniai

Šiuo tikslu plokščių pagrindai gaminami iš:

Aliuminio lydiniai, sumažintas įtempis

Aukštos kokybės{0}}plieniniai pastatai

Kai kurios sudėtingos sudėtinių sumuštinių plokščių idėjos

Siekiant išvengti deformacijos ilgų gamybos ciklų metu, šios konstrukcijos yra mechaniškai stabilizuojamos.

Temperatūros vienodumo valdymas
Šiluminė konsistencija palaikoma:

Dešimtys iki šimtų integruotų šildymo zonų

PID valdymo kilpos kiekvienai zonai atskirai

Integruoti aušinimo kanalai greitam šilumos atsakui

Temperatūros jutimo tinklai realiuoju laiku{0}}, atsiliepimai

Kiekviena zona sukalibruota taip, kad būtų koreguojami kraštų nuostoliai, apkrovos sąlygos ir erdvinis šiluminis poslinkis per plokštės paviršių.

Konstrukcijų projektavimas ir šiluminio plėtimosi kontrolė
Didelio ploto-plokštelės turi atlaikyti šilumos plėtimąsi ir palaikyti gležnus pagrindus.

Nuosekli augimo taktika
Nevienodas stiklo pagrindo šiluminis plėtimasis{0}} sukelia mechaninį įtempį. Siekiant to išvengti, plokštės gaminamos ir šildymo konstrukcija yra išdėstyta taip, kad plėtimasis būtų vienodas visame paviršiuje.

Tai pasiekiama:

Simetrinis šildymo elemento pasiskirstymas

Medžiagų parinkimas ir legiravimo kontrolė

Šiluminio dizaino modeliavimas baigtiniais elementais

Lėtas tempimas-aukštyn ir{1}}žemyn šiluminiai profiliai

Vakuuminio sulaikymo-integravimas
Pažangiausiose šildymo plokštėse yra{0}}įmontuotos vakuuminės sistemos.

Vakuuminės sistemos funkcija
Vakuuminio sulaikymo-pasiūlymai:

Saugus itin{0}}plonų stiklo paviršių tvarkymas

Pašalinkite oro angas tarp stiklo ir plokštelės

Tolygesnis šilumos laidumas

Apdorojant mikro{0}}slydimo prevencija

Vakuuminiai paskirstymo kanalai yra integruoti po plokštelės paviršiumi, kad būtų vienodai siurbiamas didelis{0}}pagrindų plotas.

FPD šildymo plokščių gamybos sunkumai
Šias plokšteles gamina labai specializuotas pramoninis menas, o pasaulyje yra tik kelios įmonės, galinčios sukurti tokio masto ir tikslumo sistemas.

Gamybos sunkumai
Pagrindinės gamybos problemos yra šios:

Didelių kvadratinių metrų paviršių apdirbimas iki mikronų lygmens plokštumo

Neiškraipoma{0}} tankių šildymo zonų tinklų įterpimas

Streso mažinimo gydymas, kad būtų išvengta{0}}ilgalaikių iškraipymų

Paviršiaus vientisumas per kelis terminius ciklus

Siekiant išvengti susidėvėjimo ir dalelių susidarymo, išlaikant šiluminį efektyvumą, dažniausiai naudojamos kietos dangos ir poliruoti paviršiai.

Švarios patalpos reikalavimai ir dalelių proceso kontrolė Pastaba
Plokštieji ekranai gaminami labai kontroliuojamose švariose patalpose, paprastai 100 ar geresnės klasės, kur ore esančių dalelių koncentracija yra labai maža.

Švarios gamybos apribojimai
Tokiomis aplinkybėmis šildymo plokštės turėtų:

Sumažinkite dalelių susidarymą terminio ciklo metu

Paviršiaus degradacija ir atsparumas dangos slinkimui

Stabilus mechaninis veikimas veikiant vakuumui

Užkirsti kelią dujų išsiskyrimui, kuris gali užteršti gležnus sluoksnius

Paviršiaus stabilumas yra pagrindinis dizaino reikalavimas, nes bet koks užteršimas kietosiomis dalelėmis gali sukelti pikselių klaidas arba našumo sumažėjimą.

Terminis jautrumas ir proceso stabilumas
Ekrano substratai yra tokie ploni ir subtilūs, kad net nedideli temperatūros svyravimai gali sukelti pastebimus iškraipymus.

Jautrumas gradientui
Mažesnis nei vieno laipsnio temperatūros skirtumas ant plokštelės gali:

Skystųjų kristalų derinimo elgesio pasikeitimas

Pakeiskite fotorezisto ekspozicijos reakciją

Daugiasluoksnių kaminų mechaninio įtempimo taikymas

Taigi temperatūros valdymo sistemos yra sukurtos su labai didele skiriamąja geba ir greitomis grįžtamojo ryšio kilpomis.

Kelių-zonų valdymo architektūros reikšmė
Daugybė nepriklausomai reguliuojamų šildymo zonų leidžia tiksliai valdyti temperatūros profilius.

Zoninio šildymo privalumai
Kelių zonų sistemos leidžia:

Temperatūros išlyginimas tarp krašto ir centro

Išorinių šilumos nuostolių kompensavimas

Adaptyvusis valdymas įvairiuose proceso etapuose

Vietinė šiluminė korekcija apkrovos pokyčiams

Tokia architektūra reikalinga norint pasiekti vienalytes proceso sąlygas dideliuose substratuose.

Santrauka
Tikslios šildymo plokštės, naudojamos plokščių ekranų gamyboje, yra viena didžiausių ir tiksliausių kada nors sukurtų terminio apdorojimo sistemų. Jų gebėjimas išlaikyti išskirtinį plokštumą, struktūrinį stabilumą mikronų lygyje ir labai vienodą temperatūros valdymą ant kelių -kvadratinių- metrų stiklo pagrindų yra labai svarbus gaminant dabartinius ekranus.

Šiluminis tikslumas, pasiekiamas šiose didelėse platformose gaminant plokščiuosius ekranus ant kaitinimo plokščių, lemia kiekvieno galutinio ekrano pikselio kokybę. Visas vizualinis ekrano veikimas, nuo fotorezisto kietėjimo iki skystųjų kristalų išlygiavimo, prasideda nuo gerai kontroliuojamos temperatūros paviršiaus.

Kadangi ekrano dydis ir toliau didėja, o pagrindo storis ir toliau mažėja, šių sistemų inžineriniai poreikiai vis didėja. Ekranas, kurį matote svetainėje, ilgainiui suformuojamas šildomoje, plokščioje nuostabaus tikslumo scenoje, kur mechaninis stabilumas ir temperatūros homogeniškumas lemia kiekvieno sukurto vaizdo kokybę.