Siekiant užtikrinti plėvelės sluoksnio vienodumą vakuuminio dengimo mašinos apvijų sistemoje

Siekiant užtikrinti plėvelės sluoksnio vienodumą vakuuminio dengimo mašinos apvijų sistemoje

Apvijų sistemoje, siekiant užtikrinti plėvelės sluoksnio vienodumą, apvijų sistemos linijinis greitis turi būti pastovus; siekiant užtikrinti pagrindo lygumą ir apvijos nenukrypimą, pagrindo įtempimas apvijų sistemoje turi būti pastovus. Ir turėti substrato išlyginimo įrenginį. Dangos dalyje turi būti pertvara ir vandens aušinimo įtaisas. Nepertraukiamo garinamųjų medžiagų padavimo mechanizme padavimo greitis turi būti pastovus ir reguliuojamas.

Vakuuminio dengimo įrenginio dengimo proceso tęstinumas

Norint išlaikyti dengimo proceso tęstinumą darbo ciklo metu, reikia pakankamai dengimo medžiagų (nusodintų medžiagų). Degaluojant garavimo ritėmis, reikalingas pakankamai didelis tiglis arba nuolatinio padavimo mechanizmas; magnetroninio dulkinimo metu reikalingas pakankamai didelis taikinys. Norint turėti vakuuminę aplinką, pirmiau minėti įtaisai turi būti dedami į sandarų vakuuminį indą ir turi būti įrengtas vakuuminis įrenginys, kad darbo ciklo metu būtų palaikomas vakuumo laipsnio stabilumas.

Vakuuminio dengimo įrenginio išvyniojimas ir pervyniojimas

Išvyniojimo ir pervyniojimo metu pagrindas padengiamas plėvele. Dangos dalis yra vakuuminės apvijos dengimo įrangos darbinė dalis. Jis yra tarp pagrindo paėmimo ir išvyniojimo ritinėlių. Darbinės dalies veikimo principas gali būti bet kuris iš aukščiau paminėtų varžinio garavimo, indukcinio garinimo, elektronų pluošto garinimo, magnetroninio dulkinimo ar kitų vakuuminio dengimo būdų.

Vakuuminio dengimo mašinos apvijų dangos techninės charakteristikos yra šios:

Pirma, dengiamas pagrindas yra lankstus, tai yra, jis yra sukamas;

Antra, dengimo procesas yra nepertraukiamas, tai yra, dengimas atliekamas nuolat darbo ciklo metu;

Trečia, dengimo procesas visada atliekamas didelio vakuumo aplinkoje.

www.superbheater.com