Tikslioji magnetroninio purškimo optinio dengimo mašina
Palik žinutę
Tikslioji magnetroninio purškimo optinio dengimo mašina
Purškimo sistema turi kelis cilindrinius taikinius ant šoninės sienelės, kad padidėtų nusodinimo greitis ir daugiasluoksnės dangos. Sistemoje yra nuolatinės srovės impulsiniai arba RF galios apvalūs katodai, vertikaliai sumontuoti substratai ir cilindriniai katodai, siekiant maksimaliai padidinti dengimo procese labai sumažėja dalelių tarša, o gamybos efektyvumas ir plėvelės našumas labai pagerėja dėl lankstaus kelių ertmių derinio.
Didelio tikslumo kelių ertmių magnetrono purškimo optinio dengimo mašina
Įrenginyje yra RF-ICP palaikomas magnetrono purškimo pooksidacijos režimas, pasižymintis dideliu nusodinimo greičiu ir atitinkamomis optinėmis savybėmis. Jis tinka AR plėvelės nusodinimui ant transporto priemonės dangtelio stiklo ir priekinio 3C gaminių dangtelio stiklo. AR plėvelė gali būti įprasta SiO2 plius Nb2O5 plėvelių sistema arba kieta SiO2 plius Si3N4 plėvelių sistema. Tuo pačiu metu jis taip pat tinka 3C gaminio galinio dangtelio spalvotai plėvelei (įskaitant gradiento spalvotą plėvelę) ir NCVM plėvelei apdoroti.
Vakuuminio dengimo mašina, didelio tikslumo magnetronų purškimo optinė dengimo mašina
Modulinė įrangos konstrukcija gali sujungti plazminio valymo (plazminio valymo) įrenginį, magnetroninį purškimą (SPT), sustiprintos cheminės reakcijos (PECVD) bloką, atominio sluoksnio nusodinimo (ALD) įrenginį ir plazmos cheminės reakcijos ėsdinimo (RIE) įrenginį. ) padalinys, skirtas išplėsti sugrupuotą mikronano apdorojimo centrą, kad apimtų visą substrato valymo, plėvelės nusodinimo (įskaitant itin plonas plėveles) ir raštuoto ėsdinimo procesą, skirtą puslaidininkių mikro nanostruktūrų apdorojimui.
Vakuuminio dengimo aparato itin stora kelių elementų lydinio danga ir itin stora nitrido danga
Nepertraukiamo kelių komponentų lydinio dangos nusodinimo storis gali siekti daugiau nei 120 um, vieno taikinio trimatis sukimasis gali būti didesnis arba lygus 6,5 um/h, o nuolatinis nitrido dangos nusodinimas yra didesnis nei 25 um. , vieno taikinio trimatis sukimasis gali būti didesnis arba lygus 3 um/h, o ruošinio paviršiaus kietumas pagerinamas. Numatytas naujas sprendimas aviacinių variklių menčių remontui ir garo turbinų menčių briaunų erozijai.
www.superbheater.com
