Reaktyvusis dulkinimas, skirtas elektrinių šildymo vamzdžių vakuuminiam dengimui, plačiai naudojamas sudėtinėms plėvelėms nusodinti
Palik žinutę
Reaktyvusis dulkinimas, skirtas elektrinių šildymo vamzdžių vakuuminiam dengimui, plačiai naudojamas sudėtinėms plėvelėms nusodinti
Plėtojant šiuolaikinę paviršių inžineriją, vis dažniau reikia naudoti įvairias sudėtines plėveles, o reaktyviojo magnetrono dulkinimo technologija yra vienas pagrindinių junginių plėvelių nusodinimo būdų. Norint nusodinti sudėtines plėveles, kuriose yra daug komponentų, purškiant gali būti naudojama tikslinė medžiaga, pagaminta iš sudėtinių medžiagų, arba purškiant gryno metalo ar lydinio taikinius, gali būti įvedamos tam tikros reaktyvios dujos, tokios kaip deguonis ir azotas, kad reaguotų ir nusodintų junginį. filmai. Tai vadinama reaktyviuoju purškimu. Paprastai grynus metalinius taikinius ir reaktyviąsias dujas lengva gauti aukšto grynumo, todėl reaktyvusis purškimas plačiai naudojamas sudėtinėms plėvelėms nusodinti.
Vakuuminio galvanizavimo elektrinio šildymo vamzdžio jonų dangos privalumai
pranašumas
didelis nusėdimo greitis
tanki plėvelė
Geras difraktyvumas, stiprus gebėjimas padengti sudėtingus paviršius
Vakuuminio galvanizavimo elektrinių šildymo vamzdžių reaktyvaus purškimo privalumai ir trūkumai
(1) Reakcija Magnetroninio dulkinimo metu naudojamos tikslinės medžiagos (vieno elemento taikinys arba kelių elementų taikinys) ir reaktyviosios dujos (deguonis, azotas, angliavandenilis ir kt.) yra labai grynos, todėl galima paruošti didelio grynumo medžiagas. sudėtinės plėvelės.
(2) Reguliuojant reaktyviojo magnetroninio purškimo proceso parametrus, galima paruošti stechiometrines arba nestechiometrines sudėtines plėveles, o plėvelės savybes galima reguliuoti koreguojant plėvelės sudėtį.
(3) Reaktyvaus magnetroninio purškimo nusodinimo proceso metu pagrindo temperatūra yra palyginti maža, o plėvelės formavimo proceso metu substrato paprastai nereikia kaitinti aukštoje temperatūroje, todėl substrato medžiagai yra mažiau apribojimų.
(4) Reaktyvusis magnetroninis purškimas yra tinkamas didelio ploto vienodoms plonoms plėvelėms paruošti ir gali pagaminti pramoniniu būdu vienos mašinos metinę produkciją, kuri sudaro milijonus kvadratinių metrų dangos.
trūkumas
Linkęs į taikinį apsinuodijimą, anodo išnykimą ir kitas problemas
www.superbheater.com
