Vakuuminio padengimo magnetrono purškimo sistema
Palik žinutę
Vakuuminio padengimo magnetrono purškimo sistema
Magnetroninio purškimo sistemoje už katodo taikinio dedamas galingas 100-1000 Gauso magnetas, o vakuumo kamera pripildoma inertinėmis dujomis (Ar), kurių slėgis yra 011-10 Pa kaip dujų nešiklis. iškrovimas. Veikiant aukštai įtampai, Ar atomai jonizuojasi į Ar plius jonus ir elektronus. Greitėjant ir skriejant į substratą, elektronus veikia statmenas elektriniam laukui magnetinis laukas, dėl kurio elektronai nukrypsta ir surišami plazmos srityje arti tikslinio paviršiaus. Jis juda išilgai tikslinio paviršiaus cikloidiniu būdu ir judėjimo metu nuolat susiduria su Ar atomais, jonizuodamas daugybę Ar plius jonų.
Itin didelis vakuuminio dengimo įrenginio kietumas ir atsparumas dilimui
1. Kadangi dangos medžiaga ant paviršiaus yra labai kieto ir atspari dilimui, palyginti su nepadengtu cementiniu karbidu, padengtas cementinis karbidas leidžia pasiekti didesnį pjovimo greitį, taip pagerindamas apdorojimo efektyvumą; Žymiai pagerinkite įrankio patvarumą tuo pačiu pjovimo greičiu.
2. Kadangi trinties koeficientas tarp dengiamosios medžiagos ir apdorojamos medžiagos yra mažas, padengto peilio pjovimo jėga yra tam tikru mastu sumažinta, palyginti su nepadengtu peiliuku.
3. Apdorojus padengtą geležtę, apdirbamo paviršiaus kokybė geresnė.
4. Dėl gero visapusiško veikimo, padengtas peilis yra universalesnis. Dengtos rūšies ašmenys turi platų pritaikymo spektrą.
Vakuuminio dengimo molekulinis siurblys ir kriosiurblys kaip pagrindinis siurblys
Be alyvos vakuuminis Xiyong kaip pagrindinį siurblį naudoja molekulinį siurblį ir kriogeninį siurblį, o jo charakteristikos daugiausia sutelktos į tai, kad jis gali nuolat siurbti didelį kiekį oro ir gali gauti švarų ir be alyvos itin aukštą vakuumą. Sistema turi greitą paleidimo laiką ir trumpą siurblio sustabdymo laiką. Tačiau sistema, siurbianti sunkiąsias dujas, yra greitesnė nei lengvųjų dujų siurbimo, o vandens garų tipo siurbimo greitis yra gana lėtas. Kai per siurblį praeina didelis dujų kiekis, siurbimo greitis greitai sumažės.
www.superbheater.com
