Vakuuminiams formuotojams reikalingas garavimo šaltinis arba garinimo taikinys
Palik žinutę
Vakuuminiams formuotojams reikalingas garavimo šaltinis arba garinimo taikinys
Įvairioms dengimo technikoms reikalingas garavimo šaltinis arba taikinys, kad išgaravusios plėvelę sudarančios rūšys paverstų dujomis. Vis gausėjant šaltiniams ar taikiniams, filmų kūrimo medžiagos pasirinkimas gerokai išsiplečia. Nesvarbu, ar tai būtų metalas, lydinys, junginys, keramika ar organinė medžiaga, įvairias metalo plėveles ir dielektrines plėveles galima nusodinti garais, o įvairias medžiagas vienu metu nusodinti garais, kad būtų gautos daugiasluoksnės plėvelės.
Vakuuminio formavimo mašinos nesubalansuoto magnetroninio purškimo technologija
Todėl magnetrono dengimo mašina gali išsikrauti esant mažesniam darbiniam slėgiui ir įtampai, o tikslinis panaudojimo lygis yra gana didelis. Tačiau substrato sritis yra mažiau bombarduojama jonų, nes elektronai juda išilgai magnetinio lauko linijų ir dažniausiai apsiriboja tiksliniu paviršiumi. Nesubalansuoto magnetroninio purškimo technologijos koncepcija reiškia, kad magnetroninio katodo išorinio magnetinio poliaus magnetinis srautas yra didesnis nei vidinio magnetinio poliaus, tai yra, dviejų magnetinių polių magnetinio lauko linijos nebus visiškai uždarytos. ant tikslinio paviršiaus ir yra tam tikra magnetinio lauko linijų dalis. Jis tęsis išilgai taikinio krašto iki substrato srities, todėl dalis elektronų gali plisti į substratą išilgai magnetinio lauko linijų, taip padidindami plazmos tankį ir dujų jonizacijos greitį substrato srityje. Nepriklausomai nuo nesubalansuoto balanso, jei magnetas yra nejudantis, jo magnetinio lauko charakteristikos lemia bendrą tikslinį panaudojimo rodiklį, mažesnį nei 30 procentų. Sukamasis magnetinis laukas gali būti naudojamas siekiant pagerinti taikinio panaudojimą. Jei besisukančiam magnetiniam laukui reikalingas besisukantis mechanizmas, tada purškimo greitis sumažėja. Besisukantys magnetiniai laukai dažniausiai naudojami dideliems ar vertingiems taikiniams. Pavyzdžiui, puslaidininkinių plonų plėvelių purškimas. Mažai įrangai ir bendrajai pramoninei įrangai plačiai naudojamas magnetinio lauko statinis tikslinis šaltinis.
www.superbheater.com
